干式螺桿真空泵
發布時間:2017-03-08

我公司生產的螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵, ,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點。一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替, 干式無油、清潔環保的螺桿真空泵是往復泵、水環泵、滑閥真空泵、旋片真空泵、及羅茨機組的更新換代產品。
螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉子與泵體組成的一個工作室,轉子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙,兩個轉子與泵體之間形成了密封腔,當轉子旋轉時把密封腔內的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。
螺桿真空泵的一個導程相當于一級泵,多個導程的螺桿真空泵相當于多級泵串聯,相對于爪式真空泵、多級羅茨真空泵等多級串聯的干式真空泵而言,因螺桿真空泵的各級泵之間無內部通道,而是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側,因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。吸入的氣體平穩的加壓高于排出處的氣體壓力。這樣的設計使得排出的氣體中不會混有油性物質。電機的動力通過聯結裝置傳輸給主動軸,主轉動軸再通過定時齒輪傳輸給從動軸。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封,泵腔內完全無油,因此螺桿真空泵是無油干式真空泵,在半導體、電子工業中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優越性。
螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉子與泵體組成的一個工作室,轉子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙,兩個轉子與泵體之間形成了密封腔,當轉子旋轉時把密封腔內的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。
螺桿真空泵的一個導程相當于一級泵,多個導程的螺桿真空泵相當于多級泵串聯,相對于爪式真空泵、多級羅茨真空泵等多級串聯的干式真空泵而言,因螺桿真空泵的各級泵之間無內部通道,而是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側,因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。吸入的氣體平穩的加壓高于排出處的氣體壓力。這樣的設計使得排出的氣體中不會混有油性物質。電機的動力通過聯結裝置傳輸給主動軸,主轉動軸再通過定時齒輪傳輸給從動軸。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封,泵腔內完全無油,因此螺桿真空泵是無油干式真空泵,在半導體、電子工業中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優越性。

性能參數